Sistema de medición de topografía 3D confocal espectral serie MTS
La serie MTS utiliza tecnología confocal espectral avanzada para la medición de superficies 3D sin contacto, logrando una resolución excepcional en el eje Z de hasta 20 nm. Cuenta con plataformas de motor lineal con precisión de 0,1 μm, funciones de escaneo automatizado y compatibilidad con múltiples materiales. Compatible con diversas aplicaciones, como la inspección de golpes de semiconductores, la medición de ranuras y el análisis de marcas láser. Integrada con software propietario y algoritmos de IA para un procesamiento de datos eficiente y generación de informes en tiempo real. Ideal para el control de calidad de la fabricación de precisión en las industrias de electrónica, automoción y semiconductores.
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Descripción general de la tecnología
La Serie MTS representa un gran avance en la metrología de superficies 3D, gracias a la tecnología confocal espectral que establece una correspondencia precisa entre la distancia y la longitud de onda mediante principios de dispersión óptica. Este avanzado sistema permite una medición de alta precisión de diversas superficies de materiales, incluyendo materiales transparentes/opacos, superficies reflectantes y muestras coloreadas. A diferencia de los métodos de medición tradicionales, el sistema MTS no requiere escaneo en el eje Z, lo que proporciona resultados más rápidos y precisos.
La tecnología principal utiliza un sofisticado sistema óptico donde la luz blanca se enfoca a diferentes distancias a lo largo del eje óptico, cubriendo todas las bandas de luz visible en el punto focal. Este innovador enfoque permite al sistema superar las limitaciones de las técnicas de medición convencionales, ofreciendo un rendimiento superior en escenarios de medición complejos.
Ventajas tecnológicas clave
Capacidades de medición de alta precisión
La serie MTS logra una precisión de medición excepcional, con una resolución en el eje Z de hasta 20 nm y una precisión de ±80 nm. El sistema incorpora escalas de rejilla de alta precisión (0,1 μm) en los ejes X e Y, lo que garantiza una precisión de posicionamiento excepcional. La tecnología de sensor confocal espectral permite la medición coaxial, eliminando los efectos de sombra y permitiendo mediciones en superficies con ángulos de inclinación de hasta 45° para superficies reflectantes y 80° para superficies difusas.
Sistema de movimiento avanzado
El sistema cuenta con una plataforma de cuatro ejes accionada por motor lineal con un recorrido estándar de 350 × 350 mm, capaz de alcanzar velocidades de escaneo de hasta 80 mm/s. La precisión de posicionamiento del eje XY alcanza ±0,3 μm con una repetibilidad de ±0,15 μm, mientras que el eje Z ofrece un recorrido de 5 mm con un posicionamiento de ±0,2 μm. Este sistema de movimiento de precisión de alta velocidad mejora significativamente la eficiencia de la medición en comparación con las plataformas convencionales accionadas por tornillo.
Compatibilidad con múltiples materiales
Una ventaja significativa del sistema MTS es su capacidad para medir diversos materiales sin necesidad de ajustes. Esta tecnología admite materiales transparentes y no transparentes, superficies difusas y reflectantes, materiales absorbentes, muestras coloreadas y superficies rugosas y pulidas. Esta versatilidad lo hace adecuado para diversas aplicaciones industriales sin necesidad de procedimientos de configuración complejos.
Componentes y especificaciones del sistema
Configuración del módulo óptico
El sistema ofrece múltiples opciones de configuración con rangos de medición de 0,2 mm a 10,6 mm, y admite de 192 a 1200 puntos por línea. El diámetro del punto puede ser de hasta 2 μm, lo que proporciona modelos con excelente resolución lateral que se adaptan a los requisitos específicos de cada aplicación, con frecuencias de muestreo que alcanzan los 36 000 Hz para aplicaciones de alta velocidad.
Capacidades de software y análisis
El sistema de software integrado proporciona herramientas de análisis integrales para mediciones 2D y 3D, incluyendo cálculos de longitud, anchura, altura, ángulo y volumen. El sistema admite la generación automática de informes en múltiples formatos y puede integrarse con la plataforma de interconexión de datos Q-DTS y la plataforma de análisis de imágenes Avocado AI para una funcionalidad mejorada.
Escenarios de aplicación
Industria de semiconductores
La Serie MTS destaca en aplicaciones de semiconductores, como la medición de altura de protuberancias, el análisis de profundidad y anchura de ranuras y la inspección de obleas. Su alta precisión y sus capacidades lo hacen ideal para el control de calidad en los procesos de fabricación y empaquetado de chips.
Fabricación de productos electrónicos
Para la inspección de PCB y componentes electrónicos, el sistema proporciona una medición fiable de los patrones de circuitos, la calidad de las uniones soldadas y la coplanaridad de los componentes. El método de medición sin contacto garantiza que no se dañen los delicados componentes electrónicos.
Ingeniería automotriz y de precisión
Esta tecnología se aplica a diversos campos de la ingeniería de precisión, como la inspección de piezas de automoción, la medición de componentes mecánicos y la evaluación de la calidad de superficies. La capacidad del sistema para procesar diferentes tipos de superficies lo hace valioso para diversas aplicaciones de fabricación.
Personalización e integración
La serie MTS admite amplias opciones de personalización, incluyendo plataformas de mayor tamaño y funciones de software especializadas. El sistema se integra con los sistemas de ejecución de fabricación (MES) existentes a través de la plataforma Q-DTS, lo que permite el intercambio de datos en tiempo real y la optimización de procesos. Su diseño modular permite futuras actualizaciones y ampliaciones según la evolución de los requisitos de medición.
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