Sistema de medición topográfica 3D serie MTS
La serie MTS ofrece medición de superficies 3D rápida y precisa mediante tecnología confocal espectral, con una resolución de 20 nm en el eje Z. Cuenta con una plataforma automatizada de 4 ejes, una frecuencia de muestreo de 6000 Hz y un software inteligente con integración Q-DTS/IA. Compatible con múltiples materiales, incluyendo superficies transparentes, reflectantes y rugosas. Ideal para las industrias de semiconductores, automoción y electrónica, para la detección de protuberancias, la medición de ranuras y el análisis de superficies con una precisión y eficiencia excepcionales.
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Tecnología revolucionaria de medición 3D
La Serie MTS representa un gran avance en la metrología de superficies 3D sin contacto, ya que utiliza tecnología confocal espectral avanzada para superar las limitaciones de los métodos de medición tradicionales. A diferencia de los microscopios digitales convencionales que requieren apilamiento de profundidad o de los sistemas confocales láser con velocidades de escaneo lentas, el sistema MTS proporciona datos completos de superficies 3D en un único y rápido ciclo de medición.
Ventajas de la tecnología central
El sensor confocal espectral del sistema funciona según principios de dispersión óptica, estableciendo una correspondencia precisa entre longitud de onda y distancia para una precisión de medición excepcional. Esta tecnología permite:
Medición de alta velocidad:Frecuencia de muestreo de 6000 Hz con plataforma XY impulsada por motor lineal, que funciona 4 veces más rápido que los sistemas convencionales impulsados por tornillo
Resolución superior:Resolución del eje Z con precisión de ±80 nm, capaz de medir características tan pequeñas como 2 μm
Versatilidad del material:Admite materiales transparentes/opacos, superficies reflectantes y acabados rugosos sin tratamiento de superficie.
Operación sin contacto:Evita daños en la muestra manteniendo la integridad de la medición
Medición topográfica del reloj
Configuración avanzada del sistema
Excelencia en sistemas ópticos
El MTS incorpora sofisticados módulos ópticos con múltiples opciones de configuración (MTS 01/02), que ofrecen rangos de medición de 0,2 mm a 10,6 mm. El sistema cuenta con una alta densidad de puntos (192-1200 puntos/línea) y un control preciso del punto (intervalo de 5-10 μm), lo que garantiza una cobertura completa de la superficie.
Plataforma de movimiento de precisión
Plataforma eléctrica de 4 ejes con rango de recorrido de 350×350 mm
Precisión de posicionamiento XY de ±0,15 μm y repetibilidad de ±0,15 μm
Recorrido del eje Z de 5 mm con precisión de posicionamiento de ±0,2 μm
Escaneo de alta velocidad a 80 mm/s con una estabilidad excepcional
Integración de software inteligente
El sistema incorpora software de análisis profesional con adquisición confocal espectral, mapeo de navegación y capacidades integrales de medición 2D/3D. La interconexión de datos Q-DTS opcional y la plataforma de IA Avocado permiten análisis avanzados y generación de informes automatizados en múltiples formatos (Word, Excel).
Aplicaciones industriales
La serie MTS cumple funciones críticas de control de calidad en múltiples industrias:
Semiconductor: Medición de altura de protuberancias, análisis de ranuras de obleas, detección de defectos
Electrónica: Inspección de PCB, verificación de coplanaridad de componentes
Automotor: Análisis de topografía de superficies, medición de piezas de precisión
Dispositivos médicos:Calidad de la superficie del implante, inspección de microcaracterísticas
Investigación y desarrollo: Caracterización de materiales, estudios de superficies
Ventajas competitivas
tecnologías alternativas, la Serie MTS demuestra mejoras significativas:
vs. microscopios digitales:Elimina los requisitos de apilamiento de profundidad y proporciona datos 3D reales
vs. Sistemas confocales láser:Velocidades de medición más rápidas, campo de visión más amplio
vs. Interferometría de luz blanca: Mejor rendimiento en superficies rugosas, menor mantenimiento.
vs. Métodos tradicionales:Mayor precisión, operación automatizada, mejor repetibilidad
El diseño modular del sistema permite la personalización según las necesidades específicas de cada aplicación, manteniendo al mismo tiempo la fiabilidad requerida en entornos industriales. Con 20 años de experiencia en el sector y servicio a casi 2000 clientes industriales, Lionhearted Technology garantiza que la Serie MTS cumple con los requisitos de medición más exigentes.
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